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六氟化硫制法/工艺

直接合成法 经净化后的氟(含HF≤0．5％)和硫反应生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。经水洗、碱洗除去绝大部分杂质气体，再经热解炉分解S2F10成SF6和SF4(300～350℃)，然后经碱洗进一步除去杂质，净化后的SF6气体经硅胶及分子筛干燥器干燥后，制得六氟化硫产品。其反应式如下：
S+3F2→SF6本品