甲基丙烯酸甲酯共聚物正型光刻胶配方

按配方，把各组分和少量过氧化苯甲酰一起加入到反应釜中，升温至80℃左右反应1h，再升温90℃左右，反应1h，冷却、出料、静置、分离、洗涤、离心过滤脱水、烘干即产品。
光刻胶的制备配方：

甲基丙烯酸甲酯共聚物	100g
巯基十一酸	0.2g
联苯甲酰二甲基缩酮(引发剂)	0.2g
二辛基己酸酯(增塑剂)	0.1g
二氯甲烷:丙酮=1:1

将配方中，各组分混合均匀，然后用二氯乙烷和丙酮混合溶剂制成一定粘度的感光液。将光刻胶粘稠原液均匀涂在聚酯片上，于75℃干燥0.5h形成1μm厚的干膜。临用前将胶片于125℃下层压到用浮石磨过的Cu/环氧树脂层压板上。层压板在Nuarc制版机中用中压汞灯曝光，用含0.8%碳酸钠，10%丁基卡必醇的水溶液于30-40℃喷雾显影。经测定最好的光刻及可分2μm的线对。以上资料由西亚试剂：化学品数据库