紫外负型光刻胶BN-303制法/工艺

制法/工艺环化聚异戊二烯紫外线负型光刻胶交联剂：2，6-双(4-叠氮苄叉-4-甲基)环己酮；环化橡胶可使用聚丁二烯橡胶、天然橡胶、聚1，4-异戊二烯橡胶。
配方:

二甲苯	1kg
聚异戊二烯	0.5kg
对甲苯磺酸-四氯化锡	适量

环化：在10L不锈钢反应釜中，加入经脱水处理的二甲苯1kg，然后，在搅拌下分次投入切成细条的聚异戊二烯0.5kg，不断搅拌，溶解完全后，加入催化剂进行环化反应，控制反应温度在40℃，反应约5h后取样分析，至环化率在55%左右即投入终止剂，中止其反应。夹套通冷却水，将反应液压入洗涤釜中，用二甲苯清洗环化釜，洗液并入反应液中。用30%醋酸水溶液洗涤反应液2-3次，再用超纯水洗3-5次，以除去反应物及多余的催化剂，减压过滤至浓缩罐。
浓缩：浓缩罐为20L不锈钢釜，减压浓缩使其混入的水和多余的二甲苯共蒸出，浓度从5%浓缩至15%-20%，即停止浓缩。
精制：将经浓缩胶液置于高速离心机(8000r/min)离心分离以除去杂质和凝胶颗粒，时间约10min。
配胶：

无水二甲苯	100g
环化聚异戊二烯橡胶	15%-30%
2，6-双(叠氮亚苄基)-4-甲基环己酮	0.5%-0.75%

根据配方，在特制的50L不锈钢调胶釜中，加入环化橡胶溶剂，定量的交联剂、添加剂，搅拌溶解，并按照所要获得的粘度和固含率加入无水二甲苯稀释到一定的浓度，得HBT-G光刻胶。
过滤：在不锈钢过滤器中，采用聚氟四乙烯超微膜(孔径0.2μm)在氮气保护下，将胶液过滤2-3次，第一次可除去1μm以上粒子，第二次则可除去0.1-0.2μm的粒子或者用稀土催化剂聚合聚异戊二烯而直接环化而成。以上资料由西亚试剂：化学品数据库