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三氯硅烷生产方法

2020-03-17 09:31:46

                       硅粉经干燥后加入氯化沸腾炉,与通人炉中的干燥氯化氢气体在340℃进行反应。生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅,由蒸馏塔出来的三氯氢硅气体经冷凝,制得三氯氢硅成品。                                            

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