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1. 结构与形态：氮化钛通常呈金黄色结晶粉末状，其晶体结构为立方结构。这种结构赋予了氮化钛独特的物理和化学特性。
2. 熔点与硬度：氮化钛的熔点非常高，达到2950℃至3290℃，这使得它在高温环境下仍能保持稳定。此外，氮化钛的莫氏硬度为8-9，表明它具有极高的硬度，接近金刚石的硬度水平。
3. 热稳定性与抗热震性能：氮化钛具有良好的热稳定性，能够在高温下保持其结构和性能不变。同时，它还具有优异的抗热震性能，能够抵抗温度急剧变化带来的冲击。
4. 溶解性与化学反应性：氮化钛在常温下相当稳定，不溶于水，微溶于王水、硝酸和氢氟酸。然而，在真空中加热时，它可失去部分氮，生成含氮量比TiN少的升华物，此升华物可重新吸氮。在氧中或空气中燃烧时，氮化钛会生成二氧化钛（TiO2）并释放氮气。
5. 电导率与导热性：氮化钛具有良好的导电性和导热性，这使其在电子和电气领域有广泛应用。
6. 耐化学腐蚀性：氮化钛对多种化学物质表现出良好的耐腐蚀性，包括酸、碱和盐等。
7. 制法多样性：氮化钛可以通过多种方法制备，包括将金属钛在氨气气流中加热反应、将二氧化钛和碳混合后在氮气气流中还原氮化，以及通过气相沉积法得到氮化钛涂层等。
1. GHS分类：根据全球化学品统一分类和标签制度（GHS），氮化钛未被归类为危害物质。
2. 安全术语：由于氮化钛在正常条件下不表现出明显的健康或环境危害，因此没有特定的警示词或危险性说明。
3. 风险术语：氮化钛本身不易燃，且在高温下具有良好的热稳定性。然而，在处理过程中应避免与强氧化剂接触，以防止可能的化学反应。
4. 急救措施：如果吸入了氮化钛粉尘，应立即将患者转移到新鲜空气处。皮肤接触后，应脱去污染的衣物并用肥皂水和清水彻底冲洗。眼睛接触时，应用流动清水或生理盐水冲洗，并立即就医。误食情况下，应漱口并禁止催吐，立即就医。
5. 消防措施：氮化钛本身不燃烧，但应使用适当的灭火剂进行灭火，如水雾、干粉、泡沫或二氧化碳灭火剂。消防人员需佩戴适当的防护装备。
6. 泄漏应急处理：发生泄漏时，应急处理人员应戴携气式呼吸器，穿防静电服，戴橡胶耐油手套。应尽可能切断泄漏源，并根据泄漏量采取相应的收容措施。
7. 废弃处置：氮化钛的废弃处置应遵循当地环保法规，确保不对环境造成污染。通常建议将其作为工业废物处理。
8. 安全数据表：氮化钛的安全技术说明书提供了详细的化学品及企业标识、成分/组成信息、危险性概述、急救措施、消防措施、泄露应急处理、操作处置与储存等信息，是了解和使用氮化钛的重要参考资料。
1. 物理性能
- 密度：确保氮化钛靶材的密度接近理论值，表明材料内部无明显孔隙。氮化钛的理论密度为5.24 g/cm³。
- 硬度：通过维氏硬度测试（HV）或洛氏硬度测试（HR），确保靶材具有足够的耐磨性和抗划伤能力。氮化钛的硬度极高，一般在2000至3000维氏硬度（HV）之间。
- 电阻率：电阻率是衡量靶材导电性的重要指标，通过四探针法进行测量。氮化钛表现出良好的导电性，电阻率通常在15-30 µΩ·cm之间。
2. 化学性能
- 纯度：氮化钛靶材的化学纯度需达到99.9%以上，以减少杂质对溅射薄膜性能的影响。
- 均匀性：化学成分在整个靶材中的分布应均匀一致，避免局部区域因成分差异而导致性能变化。
3. 机械性能
- 抗弯强度：通过三点弯曲试验测定，确保靶材在加工和使用过程中不易断裂。
- 抗热震性：通过反复加热冷却循环测试，评估靶材抵抗温度急剧变化的能力。
4. 外观检测
- 目视检查：检查靶材表面是否有裂纹、凹坑、起泡等缺陷。
- 光学显微镜检查：使用光学显微镜观察靶材表面和断面的微观结构。
5. 微观结构分析
- 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察靶材表面和断面的微观形貌，检查晶粒大小、分布情况。
- 透射电子显微镜（TEM）：进一步分析晶粒内部结构，确定是否存在位错、孪晶等缺陷。
6. 化学成分分析
- X射线荧光光谱（XRF）：用于测定靶材的化学成分和含量。
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